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簡要描述:日本SMC新品高真空元件對(duì)應(yīng)300mm晶片 平行密封型門閥 XGTP 壽命長:300萬次(常溫時(shí))發(fā)塵量:減少到1/5以下(與從前的產(chǎn)品相比)維護(hù)性提高 易于更換波紋管 可從頂端更換門組件(訂制規(guī)格)安全對(duì)策 采用機(jī)械式帶端鎖機(jī)構(gòu)
產(chǎn)品型號(hào):
所屬分類:SMC高真空原件
更新時(shí)間:2024-11-18
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日本SMC新品高真空元件
對(duì)應(yīng)300mm晶片 平行密封型門閥 XGTP
壽命長:300萬次(常溫時(shí))
發(fā)塵量:減少到1/5以下(與從前的產(chǎn)品相比)
維護(hù)性提高
易于更換波紋管
可從頂端更換門組件(訂制規(guī)格)
安全對(duì)策
采用機(jī)械式帶端鎖機(jī)構(gòu)
日本SMC新品高真空元件
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